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多孤离子镀膜机是近年新开发出来的真空离子镀膜技术,适用于镀制装饰膜如:金色的氮化钛,黑色的碳化钛,七彩的氮氧化钛等,亦可镀防腐蚀膜(如:AL、Cr不锈钢及TiN等)和耐磨膜。膜层与基底结合牢固,适合于手表、五金、餐具及要求耐磨超硬的刀具、模具等。具有很高的发展前景。 |
技术参数列表:
| 规格\型号 |
TG-4A |
TG-6A |
TG-10A |
| 镀膜室尺寸 |
Ф800X1000 |
Ф900X1200 |
Ф1200X1500 |
| 极限真空度 |
10-4Pa |
| 抽气时间 |
从大气抽至6.6X10-2Pa<10min |
| 电弧源 |
4个(2KW/个) |
6个(2KW/个) |
10个(2KW/个) |
| 直流负偏压 |
0-1000V
10A
0-500V 20A |
0-1000V
12A
0-500V 25A |
0-1000V
20A
0-500V 30A |
| 工件尺寸 |
6轴Ф220X800 |
6轴Ф250X1000 |
6轴Ф280X1300 |
| 加热功率 |
15KW |
20KW |
25KW |
| 总功率/平均功率 |
40KW/25KW |
50KW/30KW |
58KW/35KW |
直流磁控靶
(平面或柱面) |
10KW |
15KW |
20KW |
气体质量流量控制仪 |
三路 |
三路 |
三路 |
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