(1)工件盘夹具采用水冷式圆筒设计,镀膜面积大,满足塑料薄膜等不耐温产品沉积多层溅射光学涂层。工件架同时具备公自转结构,可适应多种异形工件适用性广;
(2)采用中频圆柱靶溅射系统及离子源辅助系统,膜层致密,折射率高且稳定,附着力强,不易吸附水汽分子,在各类环境中,比传统电子束蒸发设备所沉积的膜层保持更稳定的光学性能;
(3)配备了晶控监测系统精确控制膜层厚度,工艺稳定性高,重复性好;SPEEDFLO闭环及全自动控制系统,有效提高SiO₂的沉积速率;
(4)恒温夹具设计有效控制产品温度,可适应超薄PET、PC材质类产品。
设备可用于沉积TiO₂、SiO₂、Nb₂O₅、In、Ag、Cr等材料,可实现各类光学彩膜、渐变色膜、AR膜、分光膜等。设备可在玻璃、塑胶、金属及陶瓷件表面沉积光学渐变色涂层,形成自然过渡、层次丰富的外观效果。
设备已广泛应用于PET膜片/复合板、手机塑胶中框、电子产品、太阳眼镜、滑雪防护镜、高端日化用品包材(玻璃瓶)、服饰装饰等产品。