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多弧阴极离子镀膜机的阴极表面污染有什么影响-广东振华真空镀膜设备

我们曾对多弧阴极离子镀膜机的冷阴极电弧作过这样的试验,在多弧阴极相同的放电条件下(如相同的引弧电压,相同的工作气氛与相同的真空度等),表面很清洁的离子镀膜阴极(如已经过燃烧后的阴极)在引弧时较为困难,但是表面有污染的多弧阴极(如阴极表面涂有污物)引弧反倒很容易。

多弧阴极离子镀膜机

显然,多弧阴极离子镀膜机的阴极表面有污染时,会更加容易产生表面的电子发射。一般来说,污物的本身就含有多种成分,某些元素很容易发射电子,另一方面受污染的阴极表面其电子的逸出功降低也比较容易产生电子发射。多弧设备的阴极靶源(特别是新靶)其表面通常含有初始污染(如吸附氧等),由于氧可发射大量的电子,初始电弧更容易发生在有污染的地方,直到表面污染被蒸发完毕才开始正常的靶材蒸发。

因此,在多弧阴极离子镀膜机靶源的装配过程中,应确保在清洁的状态下进行装配,尽量使阴极多弧靶表面特别是如侧面、阴极座、屏蔽件等非蒸发表面不受污染,防止在非蒸发面放弧,提高靶源工作的稳定性和可靠性。另外阴极表面上大量的小孔也会引起对电弧燃烧稳定性的严重干扰。