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多弧镀膜机靶源尺寸及形状对电弧稳定性的影响-广东振华真空镀膜设备

多弧镀膜机电弧放电弧斑受磁场的限制,同时也受靶源边界的限制。因为镀膜机阴极靶面面积越大,可供靶的弧斑移动的区域就越大,越益于镀膜机电弧的稳定燃烧。在多弧机工件相同的条件下,Ø350mm的大面积多弧设备靶源即使在无外加磁场的情况下也能够做到维持电弧放电的进行,只是这时靶的弧斑很粗糙,而小靶源(Ø6mm)根本没有办法维持进行电弧放电。

多弧镀膜机

在多弧镀膜机磁场设置等条件相同的情况下,镀膜机靶源蒸发表面为平面时不容易维持电弧的稳定燃烧,而将设备内靶面加工成凹面时电弧燃烧比较稳定。多弧镀膜设备的靶源磁场的设置均为轴对称场,在前面已经说过磁场既有轴向分量,同时又有径向分量,靶面附近的带电粒子(垂直靶面运动)在径向磁场的作用下产生周向运动,而周向运动的带电粒子在轴向磁场的作用下将产生一径向推力,当靶面为凹面时,由于靶面外沿凸出,阻止了带电粒子移出靶面外,同时离子轰击靶面外沿凸出部分,产生二次电子发射,有助于多弧镀膜设备的电弧稳定燃烧。