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真空离子镀膜机阴极靶温度对电弧有什么影响-广东振华真空镀膜设备

真空离子镀膜机靶源的阴极电弧放电燃烧的稳定性依赖于阴极表面的蒸发温度,降低阴极表面温度,会带来很高的电弧燃烧稳定性。同时降低阴极蒸发表面的温度,也会导致金属蒸气中的大的粒子数和大的溅射物降低。

真空离子镀膜机

观察真空离子镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况,每当电弧熄灭前,总是发现电弧弧斑极为粗糙。有时甚至出现堆团状弧斑。熄灭后观察靶面已发红,靶表面温度很高。粗糙弧斑的出现,使弧电流较集中于靶面一点,导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中,使弧斑下的靶面温度更高而产生大量的热电子发射。靶面局部大量的热电子发射的结果,一方面中和了大量的空间电荷,使阴极表面上的电场成为减速场,甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面,大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。结果既没有空间电荷产生的强大电场来维持表面发射,也不具备极高的表面温度来产生热电子发射,导致电弧的熄灭。

所以在真空离子镀膜机多弧靶源的设计中,应注意给阴极靶以充分的冷却,最好采用直接水冷,间接水冷时,阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料(如铜、铝等)。