始于1992年,我们专注于真空镀膜领域

新闻资讯

新闻资讯

news

销售咨询

Sales consultant

服务热线

400-900-9105

镀膜机真空度高低对电弧燃烧稳定性的影响-广东振华真空镀膜设备

电弧放电时,真空室内的真空度越低越益于电弧放电的稳定燃烧。随着镀膜机真空度的降低,真空室内气体分子密度增加,从而有更多的气体和金属蒸气被电离,容易维持电弧放电的正常燃烧。在相同的工作条件下,在靶面附近通入工作气体时电弧燃烧的稳定性比不在靶面附近通气时要好。除真空度高低对电弧燃烧稳定性有一定影响外,还有以下几种可能。

1、放电真空度低,阴极靶面有凹面,靶源表面清洁程度好时,电弧放电稳定性较好。

2、电弧燃烧的稳定性与阴极靶面温度有关,过高的阴极靶面温度对电弧燃烧的稳定性有不利的影响。

3、外加磁场对多弧靶源的电弧放电的稳定燃烧有相当大的影响,合理的磁场设置将带来电弧燃烧好的稳定性。

4、电弧放电其环境气体种类对电弧的稳定性有一定的影响。

5、电弧电流越大,阴极靶面面积越大,越有益于电弧的稳定燃烧。