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真空镀膜技术的离子渗氮工艺介绍-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜技术离子渗氮是由德国人B.Berghaus于1932年发明的工艺。该工艺是在0.1~10Torr的含氮气氛中,以炉体为阳极,被处理工件为阴极,在阴阳极间加上数百伏的直流电压,由于辉光放电现象便会产生象霓虹灯一样的柔光覆盖在被处理工件的表面。此时,已离化了的气体成分被电场加速,撞击被处理工件表面而使其加热。同时依靠溅射及离子化作用等进行氮化处理。

真空镀膜技术

真空镀膜技术离子氮化工艺与以往的靠分解氨气或使用氰化物来进行氮化的方法截然不同,作为一种全新的氮化方法,现已被广泛应用与汽车、机械、精密仪器、挤压成型机、模具等许多领域,而且其应用范围仍在日益扩大。