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关于真空镀膜金属薄膜的电导特征-广东振华真空镀膜设备

薄膜的电子性质与块状材料的电子性质相比较具有明显的差异,某些在薄膜上所显示成来的物理效应,在块状材料上是很难找到的。


对块状金属而言,电阻因温度的降低而减少。在高温时电阻随温度只是一次方的减小但在低温下电阻则会随温度降的五次方减小。但是,对薄膜则完全不同,一方面薄膜的电率要比块状金属大,而另一方面在温度降低后薄膜的电阻率却没有块状金属下降的速度快。
这是因为在薄膜情况下表面散射对电阻的贡献大的缘故。薄膜电导异常的另一种表现是磁易 对薄膜电阻的影响。处于外磁场作用下的薄膜,电阻大于块状材料的电阻,原因在于膜中指 属化 发展 螺旋轨迹向前运动时,只要其螺旋线的半径大于膜的厚度,则电子在运动过程中就会在表资 后 处产生散射,从而产生一个附加电阻,而导致膜的电阻大于块状材料的电阻。同时,也会大于薄膜在没有磁场作用下的电阻值。这种薄膜电阻对磁场的依赖关系被称为磁阻效应,从 要 通常把这种效应用于对磁场强度的测量上。例如:aSi、CuInSe2和CaSe薄膜太阳能电池及AlO:、CeO、CuS、CoO2、Co:O、CuO、MgF2、SiO、TiO2、ZnS、ZrO等。