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金属薄膜电阻温度系数特征-广东振华真空镀膜设备


金属膜电阻温度系数随膜厚而变化,薄的膜为负值,厚的膜为正值,更厚的膜与块状材料相似,但并不完全相同。一般情况下,薄膜厚度增加到数十纳米时,电阻温度系数从负值转为正值。

此外,蒸发速率也影响金属薄膜的电阻温度系数。低蒸发速率制备的膜层疏松,电子越过其势垒而产生电导的能力弱,再加上氧化和吸附作用,所以电阻值较高,电阻温度系数偏小,甚至为负值,随着蒸发率的增大,电阻温度系数由小变大,由负变正。这是由于低蒸发率制备的薄膜由于氧化而具备半导体性质,电阻温度系数出现负值。高蒸发率制备的薄膜趋向于金属特性,电阻温度系数为正值。


由于薄膜的结构随温度进行不可逆的变化,因此薄膜的电阻、电阻温度系数也都随蒸镀时镀层温度发生变化,越薄的膜,这种变化越剧烈。这可以认为近似岛状或管状结构膜的粒子在基板上再政法、再分布以及晶格散射、杂质散射、晶格缺陷散射、氧化引起的化学变化的缘故。