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真空镀膜薄膜的时效变化特征-广东振华真空镀膜设备

刚制备好的薄膜,放置一段时间后,薄膜的性质会逐渐发生变化。在室温下放置一段时间后,不仅电阻会逐渐发生变化,膜厚也随放置时间变化,这种变化和放置时间不是直线关系,而是呈曲线衰减。放置初期变化较大,后期变化减慢,最后趋于较稳定期,变化很小。虽然它不像一般金属那样,可以进行充分的退火来消除结构缺陷,但是薄膜经过热处理仍然可以改善其结构和性能。

对于单一金属,热处理可以使晶格排列较整齐一些,合金材料的薄膜,经过热处理使合金各组分相互扩散,可以获得所需要的固溶体。此外,热处理还可以部分消除晶格缺陷,改善薄膜的热稳定性,消除内应力,增强薄膜与基片的附着力,消除膜层中气体分子的吸附。热处理时,能在表面生成一层氧化保护膜,保护薄膜不受到侵蚀和污染。此外,热处理还能缩短薄膜的时效期。