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真空镀膜之气体的基本性质-广东振华真空镀膜设备

为了深入研究在真空容器中稀薄气体状态下气体分子的有关性质及其运动规律,了解气体与蒸气的性质、气体状态与其基本参数的关系、气体内部各种动力过程的规律以及成膜过程中气体与固体在界面上的相互作用等是十分必要的。


气体与蒸气
在真空镀膜技术中经常遇到的气态物质有两种:一是永久性气体;另一种是蒸气。所谓蒸气(又称可凝性气体)是相对于永久性气体而言的,气体和蒸气是通过它的临界温度来区分的。任何气体都有其特定的临界温度,通常把处于临界温度以上的不能通过等温压缩发生液化的气体称为永久气体,而把处于临界温度以下的,只靠单纯增加其压力就能使其液化的气体称为蒸气。蒸气与气体可通过室温为标准加以划分,常用物质的临界温度见表2-2。从表中可以看出氮、氢、氖、氦、空气等物质的临界温度远低于常温,所以,在室温下这些物质均属于“气体”。而二氧化碳的临界温度与室温相接近,易于液化,可称其为蒸气。至于蒸汽和一些有机物质的蒸气及气态金属当然都是属于蒸气的范畴。