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蒸发源电阻加热式蒸发源使用要求及选材-广东振华真空镀膜设备

电阻加热式蒸发源结构简单使用方便易于制作,是应用最为广泛的一种蒸发源门通常称为发热体或蒸发舟。

真空镀膜机

加热所用电阻材料的要求是:使用温度高、电阻率适宜、高温下蒸气压低,不与膜材生化学反应,不产生放气和污染等。所选用的电阻加热材料主要来源于难熔金属,如 Mo、Ta等材料或选用高纯高强度石墨或氮化硼合成导电陶瓷等材料。有时,也可选 Fe、Ni、Ni-Cr 合金及 Pt 等作为蒸发源材料。

各种电阻加热式蒸发源的常用材料(如Ti、Mo、C、Ta、W等)的熔点和蒸气压与度的关系曲线。其中钨在加热到蒸发温度时,会因加热结晶而变脆。钼则会纯度不同而有所不同,有的会变脆,有的则不会变脆。钨和水汽起反应,会形成挥发性年物WO。因此,钨在残余水汽中加热时,加热材料会不断受到损耗。残余气体压力低日虽然材料损耗并不多。但是,它对于膜的污染是较严重的。

采用丝状源应注意热丝对膜材的浸湿性。例如,热丝温升太快,膜材不易立刻全部熔致使膜材与热丝浸湿不充分。从而,会使没有熔化的膜材从金属丝筐中脱落下来。同时,温升太快也会造成膜材中的气体迅速释放出来,产生气泡或发生飞溅,结果会使形成的小熔滴粘在基片上。因此,丝状源的使用应注意温度的控制。

金属线筐,锥形线圈或螺旋形线圈的主要缺点是支撑膜材量太小,而且这种源会随着膜材蒸发后,膜材量的减少而使热丝温度上升,从而引起蒸发速率的上升。这对要求严格控制蒸发速率的制膜工艺而言,也是一个应予注意的问题。