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感应加热式蒸发源-广东振华真空镀膜设备

感应加热式蒸发源是利用高电磁场感应,加热膜材使其汽化蒸发的一种装置。

真空镀膜机

(1)感应加热式蒸发源的工作原理及特点

感应加热式蒸发源的工作原理是将有膜材的坩埚置放在不与螺旋线圈相接触的面中,在线圈中通过高电流,膜材在高频电磁场感应下产生强大的涡流,致使膜材温,直主器发。材体积越小,感应频率越高。例如,对每块仅有几毫克重的材料,应采用儿兆赫额率的感应电源,感应线图常用铜管制成并通以冷却水。其线圈功率均可单独调节。

感应加热式蒸发源具有如下特点。

蒸发速事大,在沉积铝膜厚度为40nm时,镀膜机卷绕速度可达270m/min,比电陆加热式蒸发源的高10倍左右。

蒸发源温度均匀稳定,不易产生液滴飞溅现象可避免液滴沉积在薄膜上产生针孔缺陷,提高膜层质量。

和蒸发源一次装料,无需送丝机构,温度控制比较容易,操作简单。

对膜材纯度要求略宽些。例如一般真空感应加热式蒸发源用99.9%纯度的铝即可而电阻加热式蒸发源要求铝的纯度为99.99%,因此,膜材的生产成本亦可降低。

(2)感应加热式蒸发源的结构及设计

主要由感应线圈、内坩埚、外坩埚、热绝缘层及底座等构成。