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间歇卧式真空蒸发镀膜机的整体结构-广东振华真空镀膜设备

真空蒸发镀膜机,根据所镀膜材要求的不同,在其整体结构上也有所不同。如蒸发源的类型、工件架的结构及其运动方式,真空泵的种类及其组成系统的布局等等。但是,就蒸发镀膜机的整体组成部分而言,基本上是相同的。现以可蒸镀多种膜的间歌式真空蒸发镀机为例,对其整体结构和组成作一简单的介绍。

举个例子,有的镀膜机是用于蒸镀铝镜或建筑用幕墙玻璃的高真空卧式蒸发镀膜机。它的整体结构是由箱式真空镀膜室、多点平面组合式蒸发源、小车推进式工件架、高真空抽气系统、水冷系统、电气系统等几大部件组成。