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超高真空镀膜系统的设计有哪些特点-广东振华真空镀膜设备

超高真空技术现在主要在超高真空表面研究、热核反应、高能量加速器、半导体的研究、超高真空镀膜等真空科学领域中使用。因为现代科技发展的一些需求而推动了超高真空技术的发展,目前,超高真空技术的实际真空压力已达到10⁻¹²Pa。

历经几十年的沉淀,现代超高真空领域的发展已经非常可观了,它比之20世纪50年代的超高真空系统出现萌芽的情况,有以下特点:

1、以无油超高真空状态替代了有油超高真空状态。采用低温泵或钛泵等捕集式泵替代了油扩散泵。

2、真空设备材料的选择上也采用不锈钢代替了许多用原先采用玻璃的真空装置,多采用铜作为密封材料。

3、设备测试手段有多样性,除了传统镀膜装置可以测量的系统真空度之外,还实现了低能电子衍射、质谱分析、电子谱等测试手段。

4、超高真空设备的容积或体积通常比较大,而且实现的真空度更高。

在高真空和超高真空系统的设计当中,有很多相似之处,主要包括了泵组的选配、主泵的抽气速度计算、真空设备外壳计算、管路流导计算、真空设备元件泄漏检测及清洁处理等。

超高真空镀膜系统和高真空系统的设计当中也有不少的不同,例如:选择真空泵的方法跟依据不同、对材料的要求标准不同、密封结构不同、密封材料不同、焊接方法不同、焊接结构不同、对漏率的控制不同等。此外,超高真空系统该采用了烘烤系统,用于具有易氧化或者热敏性的物料烘烤。