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超高真空镀膜设备选配抽气装置有哪些要求-广东振华真空镀膜设备

油扩散泵、涡轮分子泵、钛泵(蒸发或钛升华泵)、溅射离子泵、低温泵等真空泵是超高真空镀膜设备所常用的主抽气泵。 近年来,我国也出现一些采用锆铝吸气泵为主抽气泵,加以组合配置其它真空泵来获得超高真空环境。 

除却通常的泵的选配要求之外,超高真空系统中使用的真空抽气泵的原则还有:

1、抽气系统采用的真空泵制造钢材应为不锈钢;

2、主泵需要选择性地对被抽气体进行抽气时,要装设辅助泵用来联合抽气;

3、真空室排气口到主泵的入口管道、挡板、冷阱、阀门等元件可经受烘烤高温250ºC-450ºC的环境;

4、在真空系统进行工作压力范围内,真空泵要有排走系统中气体的足够抽速;

5、主真空泵极限压力比真空设备工作压力要高1.0-1.5的数量级,如从镀膜设备的工作真空压力为1×10⁻⁶Pa,则泵的极限真空压力最少应该得有1×10⁻⁷Pa。

此外,除了上述真空镀膜设备选泵基本原则,针对于超高真空抽气泵组的也有相关要求。在10⁻⁶Pa〜10⁻⁸Pa超高真空的压力范围超高真空环境之下,不仅是所需的材料要求在真空室出气率极低,还要求:

1、阀门、管道和其它部件的选材和密封要注意,通常使用的不锈钢和金属密封圈,以达到合适的较低出气率。

2、若主泵选择抽气气体选择性强,则辅助泵规格应足够大。

3、主泵的回流气体,也包括解析与蒸汽气体在内,它们的分压需足够低。

4、主泵进气口或机组的主泵进行要求能承受200ºC-450ºC的高温环境烘烤。

5、在超高真空环境下,主泵需要有达标的抽气速度。

6、主泵的极限真空压力至少需要在10⁻⁷Pa-10⁻⁸Pa以上。

超高真空镀膜设备所配置超高真空抽气泵组要求在10⁻⁶Pa〜10⁻⁸Pa超高真空的压力范围内工作,除了要求真空室的材料漏气率极小、出气率极低之外,对烘烤的高温温度也又相关要求,是要求较为严格的一套抽气系统。