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真空镀膜设备的贝莱尔效应是什么-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜设备的贝莱尔效应(Blears),是指在带有分子筛阱的真空室分别同时用裸规和标准规管测量真空压力时,两者的压力读数会出现偏差较大的情况,比如有一个数量级以上的偏差,这个现象就是贝莱尔效应。

真空室附带的分子筛吸附阱具有较大的吸附表面积。用分子筛吸附返流蒸气,一般采用4A型或13X型的分子筛,可得到10⁻⁸Pa-10⁻¹⁰Pa的超高真空压力环境,工作有效时间长达75天。对于大型分子筛吸附阱,在高温烘烤后可得到4*10⁻⁸Pa的真空环境,在10⁻⁷Pa的压力环境中工作能维持70天的时间,也可利用真空室与泵之间连接的直角管道壁作分子筛吸附阱,阱内装设13X分子筛250g,可在经48小时的450ºC环境烘烤之后,得到4*10⁻⁸Pa的极限真空环境,在1*10⁻⁷Pa以下工作可以维持14天,42天后其压力将上升到一个数量级左右(1*10⁻⁶Pa)。

因此在使用分子筛吸附阱时需要注意:

1、在短时间要求达到超高真空的真空设备,需要装设超高真空阀门,以解决分子筛吸附阱经常暴露于大气中的问题。

2、分子筛经受反复加热去气烘烤,逐渐地将变为粉末。所以当向系统内迅速充人气体或抽气时,会使这些粉末到处乱飞污染真空系统,对此应该采取相应的措施阻截粉末的污染。

3、分子筛能在大气中强烈吸附水分,所以分子筛在使用前对做预处理是很有必要的。分子筛曾暴露于大气的话,就要进行真空中的高温烘烤,有时还要用干燥氮气冲洗。若不彻底处理,将影响它所能获得的极限真空环境,且导致抽气时间拖长。

上述贝莱尔效应的发生,主要是真空镀膜设备选择的标准规管的细长管道所引起的。因为油分子的蒸发热比较大,滞留平均时间长,所以油分子通过细长管道有一段时间迟延,因而想要等待标准规管内油蒸气分压达到与真空室油蒸气分压相同值的话,这个过程需要长达数十小时。