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真空蒸发镀膜机的油污染问题怎么解决-广东振华真空镀膜设备

真空蒸发镀膜机的预抽(粗抽)中,当压力降到粘滞——分子流状态的压力时,也就是小于10Pa数量级时,真空系统开始被机械泵油污染。当压力再一次步降低,低至分子流状态的压力时,机械泵油就以不变的流量污染真空系统。

真空蒸发镀膜机

此间,泵油污染流量受蒸汽压与流导影响,表达式为Q=pU,其中,Q为流量;p为一定温度下机械泵油的饱和蒸气压;U为前级管道的流导。

若室温下p值为10⁻²Pa,U值为10L/s,那么流量Q就是1X10⁻¹Pa•L/s,此值相当于返流到真空系统的油每秒有几微克的流量。如果真空装置的面积为1000cm²,那么油将以每秒0.1单分子层的速率淀积在系统表面上。

为防止镀膜机进行预抽时的机械泵油的污染,通常采用的措施是:

1、前级预抽管道设置阱

在前级管道中装设活性氧化铝阱、分子筛吸附阱、液氮冷阱等装置,用以返流的机械泵油蒸气阻截。

2、氮纯化器

另一种方法是用纯净氮气冲洗。机械泵抽到约10Pa的压力环境就需要马上将机械泵关闭,启动分子筛低温吸附泵,进行设备真空预抽。

关于真空蒸发镀膜机的预抽油污染问题,主要有以上两种解决方法,采用前级预抽管道设置阱已经在之前的文章有讲解过,这里就不多作详细介绍。对于氮纯化器的操作过程中,首先需要打开两个纯化器,启动预抽机械泵,通过流量的控制使管道内气体为粘滞流状态,干净纯化氮气流将带走管道和容器中吸附的水蒸气、二氧化碳、其他污染物或气体。经过半个小时的纯化,关闭其中一个纯化器,将液氮充入管道上低温吸附阱中,并关闭另一个纯化器,抽到压力为10Pa,然后关闭预抽机械泵,继续通过低温吸附阱进行系统的抽气。