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高真空镀膜设备的抽气时间如何计算-广东振华真空镀膜设备

高真空镀膜设备当中,是以高真空泵组作为获取高真空环境的抽气装置,由于高真空泵有较大的抽气速度,因此所需抽真空时间很短。而事实上,高真空的抽气时间,并不仅仅是泵组抽速这一元素就可以决定的,主要还受材料出气率影响。

在设备一开始抽真空的一段时间内,材料的出气率是一个变量,导致设备真空室的总出气量会随着抽真空的时间而逐渐衰减。计算镀膜设备到达所要求压力的时间,是由泵组的有效抽速和设备材料总出气量的比值来确定的。通常需要查材料出气率曲线来进行计算。例如计算抽到压力(p)需要的抽气时间的计算步骤有以下几步:

1、计算镀膜真空室平衡压力(p)的出气量(Q),结果等于泵组在压力(p)时的排气量,即Q=p•S。单位是Pa•L/s。

2、计算镀膜真空室中表面积(A)的材料的平均出气速率(q),即q=Q/A。单位是Pa•L/(s•cm²)。

3、在材料出气率曲线中查出平均出气速率(q)的点,与此点相对应的时间,就是高真空镀膜机的抽气达到平衡压时的所需时间。

4、注意:

(1)若镀膜真空室的材料有很多种,且材料面积不相等时,需要按材料面积倍数来做叠加曲线图。

(2)若镀膜真空室的材料有很多种,可忽略不计一些面积很小或者出气率很小的材料出气率,只需考虑几种材料出气率较大的数据,用来作出气率的叠加曲线图,以简化该计算。

(3)若镀膜真空室的材料只有一种,就不用作叠加曲线图,只要查该材料的出气率曲线就行了。

在低真空镀膜设备中,系统材料表面的出气量可以忽略不计。因而,在低真空设备中情况下计算抽气时间时,通常并不用考虑材料出气率的影响。但是在高真空领域内则不同,一般是需要计入的,如若高真空镀膜设备内材料的出气率可忽略不计的话,那么高真空室的抽气时间计算就跟低真空抽气时间计算是一样的。