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真空离子清洗设备有哪些优缺点-广东振华真空镀膜设备

在操作真空离子清洗设备的过程中,由于采用数字面板显示、逻辑电路自动控制,使得设备的操作维护非常简单,塑料、橡胶、 金属和陶瓷等材料表面的活洗、灰化、刻蚀处理、表面活化以及生命科学实验。离子束清洗刻蚀技术是在上世纪70年代的时候,由于当时固体器件正在向亚微米级线宽方向发展而随之兴起的,作为一种超精细刻蚀技术,它与机械加工、等离子体溅射、等离子体腐蚀、化学腐蚀等加工工艺相较之下,具有以下特点:

1、优点

(1)加工的灵活性、重复性好。因为离子束的束流密度、入射角、能量,亦或工件台的移动、旋转速度等诸多环境参数,都可准确独立地分别进行控制,所以可针对不同工件来控制不同的加工环境参数,不仅可以控制线条边壁的斜度,还可以控制沟槽的深度根据设置函数而变。

(2)加工的分辨率高、方向性好。设备刻蚀的工件被准直的离子束在真空环境下定向进行轰击,这是一种准确的方向性刻蚀,避免了化学湿法中常见的“钻蚀现象”,刻蚀位置的边缘效果明显,既清晰又陡直,且分辨率高。可达0.01µm-0.1µm的精度,还可得到优于0.05µm的表面粗糙度。

(3)加工能力超精细。该设备刻蚀加工的沟槽图形是非常精细的,属于亚微米级和微米级的加工,还可能刻出更加精度更高的线条(0.008µm)。

(4)该设备对加工材料具有非选择性,几乎所有常见加工材料(导体、半导体、绝缘体)都可以清洗与刻蚀。

2、缺点

有再沉积效应的可能,需在实践中解决该问题。

真空离子清洗设备广泛应用于半导体、微电子、器件封装前、LCM及LED制程、LCD、H空电子、COG前、继电器、连接器以及太阳能光伏等行业的精密活洗。产品应用于电子行业、生物医用材料、橡胶塑料行业、机械及电器制造等领域,该设备的尺寸规格都可按客户不同的工艺要求来做专门的订制。