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高真空镀膜设备的前级预抽有哪些装置-广东振华真空镀膜设备

高真空镀膜设备在分子流状态下工作,比之低真空处理机组,很明显其工作压力较低,大概在10⁻²Pa-10⁻⁴Pa之间,有排气速度快、抽气量小等特点。机组的主泵通常为分子泵、低温控制冷凝泵、扩增泵、钛泵、扩散泵等。由于这些类型的泵不能直接对大气运作,所以要装设预抽泵或前级泵(维持泵)。部分情况下,扩散泵高真空抽气装置还装设前级储气罐,储气罐可以提高泵组性能,防止其气压波动。

真空泵组

1、预抽泵

粗抽泵(预抽泵)是用于粗抽真空室中的大量气体,能让真空室的压力从1×10⁵pa的气压降至主泵可以启动运转的真空环境,所以,要求粗抽泵所需压力不高于主泵的启动压力,粗抽泵的抽速高低根据预抽时间确定。

2、储气罐

储气罐通常装设于小扩散泵的高真空抽气系统中。储气罐布置的位置一般是在前级泵和扩散泵之间,用来存储从扩散泵排除出来的气体。装设储气罐有以下原因:

(1)做扩散泵出口压力的稳定效用而设置储气罐。机械泵是脉冲型的排气,虽说其工作频率要求一般为7次/s左右,并不高,但也不可避免地存在引起扩散泵出口压力波动的可能,配设贮气罐可减轻这种压力波动。

(2)设置储气罐,用以预防真空室内瞬时排放大量气体而影响扩散油泵正常运行。 镀膜工艺在一定特定时间段内气体排放量特别大,但这个时间段较短。 如果配置机械泵都按此段时间的最大排气量来选择的话便过于浪费,因此可配备前级储气罐,用于在最大气体排放时间段储存部分气体,可有效避免因扩散泵前压力超过临界前级压力而出现的问题。

(3)装设储气罐用以减少镀膜过程花费的时间。因为有些镀膜工艺运作要求既不关闭扩散泵加热器,又要在真空室放进大气且更换装料与元件等操作,然后在装料后再用机械泵对真空室做粗抽真空等工作,那么这段时间扩散泵的工作是通过储气罐所维持的。

(4)用储气罐实现系统防震的功能。真空镀膜系统在运作时,部分工艺流程对防震要求较为严格,因此需要在一段时间内的机械泵停止进行工作,此段时间的扩散泵所抽出的气体将被存储在储气罐中。这段时间内的储气罐是机械泵的替代品,使扩散泵得以正常稳定工作。