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镀膜真空室的气体流量如何调节-广东振华真空镀膜设备

真空气体流量调节系统的主要构造元件有:壳体、插座、密封垫、压电陶瓷片、压紧弹簧以及调整螺丝等。该系统可截流气体,起到保持镀膜真空室中的真空度的作用。

镀膜机真空室

真空气体流量调节系统的原理:采用手动真空调节阀,配置对应的液压缸或控制电机(控制电机常见的有步进电机、伺服电机等类型),对液压缸或控制电机的控制信号进行调节,使液压缸或控制电机运转来实现真空阀流导的改变,完成了真空阀的气体流量的改变,实现镀膜设备进行真空室真空度的自动调节功能。

目前,国产的真空气体流量调节阀共有三种形式,分别是压电式、质量流量计式以及电磁调节式,而我国生产的压力控制仪在选择真空气体流量调节元件时,常用压电式的真空气体流量调节阀——压电阀。

压电阀的原理主要是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的核心是一个膜片,具有压电特性,是采用压电陶瓷而制成的。

当施加控制电压在压电陶瓷膜片上时,该膜片就会产生变形(变形的大小正比于外加电压值),同时带动密封垫移动,改变了压电阀的流导,使压电阀的气体通过流量发生改变。

若未施加控制电压在压电陶瓷膜片上,密封垫和压电陶瓷膜片会受到弹簧的机械力影响,从而关闭压电阀气路。因此,想要实现镀膜真空室中的气体流量调节或真空度调节,可通过施加在压电陶瓷膜片上的控制电压大小的改变,促使压电阀的流导改变,从而实现改变压电阀的气体流量。