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镀膜设备选择压力控制系统有哪些要求-广东振华真空镀膜设备

镀膜设备所配置的压力控制系统,通常是由及压力控制仪被控对象组成的闭环压力自动控制系统。其中,以真空室作为被控对象,流量作为进气量、压力作为被控制量。对于真空系统抽气速率、工件放气量、真空室器壁放气量等参数,它们的变化量都是导致被控制量压力偏离压力设定定值的重要影响因素。

多弧镀膜机

镀膜机选择压力控制仪的依据是设备及其镀膜工艺对压力控制的技术需求,通常情况下的镀膜机压力自动控制的技术需求包括:控制方式、控制气路数量、系统反应时间、控制精度、压力控制范围等方面,故而对压力控制仪有如下要求:

1、控制方式要适应实际使用情况;

2、设备的真空测量范围不小于要求的压力调节范围;

3、系统反应时间不可超过要求的系统反应时间;

4、可控气路的数量要小于要求的控制气路的数量;

5、系统压力调节范围不小于真空室要求的压力调节范围(即真空微调阀流量调节范围要不小于压力调节范围的流量变化的需求范围)。

压力控制仪采用分立元件的话,它的压力设定单元一般都是一个电位器,而压力调节单元则一般是具备PID(比例积分微分)或PI(比例积分)运算功能的一种运算电路;

如果压力控制仪是微机型的,其压力设定单元通常是利用键盘或者是码盘来设定压力的;

压力测量和调节两个单元合为一体,就是单片机压力控制系统,通过单片机系统,通过数字PID(比例积分微分)运算,来实现它的压力调节功能。

根据镀膜机的真空室的基本控制要求,来进行压力控制仪构成的压力控制系统的选择。因为不同镀膜工艺需要更改镀膜机的工作参数,所以不一定可以得到良好的控制体验。因此,可能会影响镀膜真空室的动态特性。所以我们为了在各种情况下,应对不同的条件都要得到良好的控制体验,就要根据镀膜设备的真空室工作状态下的动态特性,来对压力控制仪的PID(比例积分微分)参数进行设置及调整,这个过程我们称之为“参数整定”。