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镀膜机真空度的测量需要考虑哪些问题-广东振华真空镀膜设备

当前的科学技术水平已经可以满足解决从常压到10⁻¹⁰Pa压力范围内镀膜机真空度的测量问题,通常是选择不同类型的真空规来对不同压力区间的气体压力进行测量。但是,对于极高真空度(10⁻¹¹Pa~10⁻¹³Pa)的测量方面则还存在一些不足之处。因为想要选择真空规对特殊条件下的真空度做直接测量的话,是十分困难的,还要综合考虑真空规的工艺、结构,再结合其理论等方面的问题。

在低于常压/大气压的环境中,对气体全压力的测量就是所谓的真空度测量。真空计作为测量低于1.01*10⁵Pa(一个大气压)压力值的全压力的装置,通常是由真空规及其控制线路所构成的。真空规和真空校准都是真空度测量的重要组成部分。

1、真空规有相对真空规、绝对真空规两种类型:

(1)相对真空规。该类真空规需要按气体压力与输出信号两者之间关系,经由真空测量标准校准之后,方可确定。

(2)绝对真空规。该类真空规根据所测出的物理量,方可直接计算出气体压力。

2、真空测量标准有相对真空校准系统和绝对真空校准系统两种类型:

(1)相对真空校准系统。该类真空校准系统的主标准器采用的是相对真空规,需先经过绝对校准系统的校准,然后再校准真空规。

(2)绝对真空校准系统。该类真空校准系统是根据所测出的物理量就能直接计算出压力来进行真空规的校准。

目前,对于从大气压/常压到10⁻¹⁰pa的镀膜机真空度,已有各种类型的绝对真空校准系统及其绝对真空规,并从大气压/常压到10⁻⁷Pa的压力环境下,有了各种类型的双边、多边真空量值的比对工作的开展,得出的结果均较为统一。