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PVD镀膜设备的真空度测量要考虑哪些问题-广东振华真空镀膜设备

PVD镀膜设备的真空度测量中,需要用到真空规来对被研究的稀薄气体压力进行比较精确的测量,此间,必须考虑以下三个问题:

1、首先,要先对被研究的对象有基本的了解,需要涉及以下问题:

(1)所处环境温度:是否等温?属于低温还是高温?

(2)气流的状态:气流是瞬态还是稳态?属于均匀性气流或是非均匀性气流?

(3)气体性质:是否为可凝蒸气?属于混合气体还是单一气体?是不是具有腐蚀性的气体?是活泼气体还是惰性气体?

(4)是否存在电场、磁场、辐射、加速度、冲击、振动、带电粒子等特殊环境条件?

2、再者,按照研究的目的以及研究对象的情况来对真空规进行合理的选用,并深入了解所选用的真空规,以便正确地使用它。主要需要了解真空规的内容有:测量范围、工作原理、特殊性及其局限性。

3、最后,再对真空规与被测对象之间的相互作用进行落实研究。真空规的引入,可能导致被测对象发生状态的畸变,而且被测对象也可能导致真空规的性能改变,从而使得真空规的正常工作受到干扰。

通过上述三大问题我们可以看出,想要对真空环境比较精确地进行压力的测量,如果单独研究真空规的话是远远不够的,需对上述三个方面的相关问题对真空测量技术做比较全面的研究。

由于PVD镀膜设备测量真空压力的影响因素较多,且不易把控,因此,仅仅考虑测量精度是不够的。如若无法解决上述三大问题,那么测量误差只会更大。因为从我们目前的真空镀膜应用角度来看,在多数情况下,不需要特别高精度的测量,只是在较少的情况下,才要求误差不可高于1%的精确程度。当然,这样的高的精确度,对于满足粗、低真空环境的压力测量来说是完全没有问题的,只是对于更宽的测量范围来说,就不易做到。