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真空镀膜机测压误差有哪些来源-广东振华真空镀膜设备

术语“真空”是用于描述一个压力低于大气压的压力区域,而真空计所测的值,通常是指设备运行中的真空度。相对于镀膜机来说,所测得的真空度是周围大气压力与抽真空室中的压力之间的差值的一个读数。本文主要分析真空镀膜机测量压力出现误差主要来源。

1、温差

(1)在低压力时,平衡条件下两处压力和密度都不相等,而大小则是由热流逸效应决定的。

(2)中等压力时,因温差而产生的压力差不仅仅是由温差决定,还关系到导管直径。若在真空规和所测区间中间装设冷阱,且冷阱与真空规相连的导管和与所测区间相连的导管的粗细、长短不同时,即使真空规和所测区间的温度一致,那也会引起两边压力不同。因此,在中等压力区间使用的冷阱两端导管要相对称。

(3)在高压力时,平衡时的各处的压力相等。选择弹性变形规和U形压力计做真空测量时,在只考虑温差对气压影响的情况下,则温差不会引起误差。

2、冷阱

在真空规和所测区间之间装设冷阱后,真空规就无法测出可凝蒸气的分压。为了大家容易理解,这里先假设真空规和所测区间的等温,再继续研究。

(1)在低压力时,平衡条件下各处的压力大小是由热流逸效应所决定。由于真空规和所测区间的温度相等,则两处理想气体的分子密度以及分压都是相等的。

(2)在高压力时,平衡条件下各处区域的全压都是相等的,而由于冷阱的存在,将引起各处的理想气体以及可凝蒸气分压分布发生改变。

(3)当可凝蒸气分压为10⁻¹pa时,可凝蒸气的气流流向冷阱,因可凝蒸气与理想气体相碰撞,将导致理想气体聚集在冷阱处,即所谓拖曳作用。用电离规对汞扩散泵系统的极限压力进行测量时,若安置一个冷阱在真空规和所测区间之间,则指示的非可凝气体的分压会受到汞蒸气流拖曳效应而变得偏高。

3、真空规管的抽气和出气

除去上述两种真空镀膜机的压力测量值的误差的主要来源,真空规管的抽气和出气也是测压误差的一大主要来源,真空规管的抽气和出气是一个与真空规使用条件和历史条件的有关变化参量,因此,必须明确它对测量值的影响。