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真空镀膜仪中的标准漏孔有哪些分类方法-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜仪的标准漏孔指的是一种在合适的环境条件下能向真空设备中提供已知的气体流量的装置。通常要指明这个装置的气流量相关的气体组份、环境温度、真空压力。而没有特别说明的情况下,则默认为标准条件:温度(23±7)ºC、漏点温度低于-25ºC、入口的气体压力为100kPa(±5%)、出口的气体低于1kPa的压力的条件下的干燥空气的流量。

标准漏孔的作用是标定检出漏孔的大小和校准检漏仪的灵敏度。对于精密的标准漏孔,还能用在真空泵抽速的测量及真空规的校准当中。标准漏孔有以下两种分类方法:

1、第一种分类方法是将标准漏孔分成“不带气室型标准漏孔”和“带气室型标准漏孔”两种。

在使用“不带气室型标准漏孔”的漏孔时,需配备一个如配气系统之类的气体供应仪器。

氮质谱检漏装置所配置的供校准所用标准漏孔用的是带气室型标准漏孔,充有氮气在气室内。

2、另外一种分类方法是将标准漏孔分成“虚漏型标准漏孔”和“实漏型标准漏孔”。

属于实漏型的有玻璃-铂丝型、金属压扁型、玻璃毛细管型等标准漏孔。

属于虚漏型的有薄膜渗氮型和放射性性(即“绝对漏孔”)等标准漏孔。

在使用漏率表征真空镀膜仪的漏孔大小之时,若没有特别指明,则该漏孔是指在标准条件下,漏点低于-25ºC的温度的空气通过一个漏孔的流量。上述标准条件指的是:漏孔出口压力低于1kPa、入口压力为100kPa(±5%)、环境温度是(23±7)ºC。