始于1992年,我们专注于真空镀膜领域

新闻资讯

新闻资讯

news

销售咨询

Sales consultant

服务热线

400-900-9105

pvd真空镀膜中的标准漏孔有哪些类型-广东振华真空镀膜设备

pvd真空镀膜中,校准检漏装置所用的标准漏孔应满足使用方便、容易校准、抗污染力强、在长时间使用中漏率稳定、标准漏孔的校准值准确度足够、具备满足检漏仪灵敏度校准精度的能力、具备的漏气量与被校准的检漏装置灵敏度相匹配等要求。

满足上述各项要求的常用的标准漏孔有以下几类:

1、薄膜渗氮型

石英薄膜渗氨型标准漏孔是最早使用的一种薄膜渗氮型的标准漏孔,薄膜渗氮型标准漏孔是国外用于校准氮质谱检漏仪灵敏度的一种最通用的标准漏孔。

在国内,也有许多单位曾对此类标准漏孔进行研制,用不同的石英薄膜的面积、厚度以及充入氦的压力进行不同漏率的标准漏孔的制作。

因为漏率受温度的影响比较大,所以在使用时需要注意将由温度变化所带来的影响进行修正。通过利用温度与漏率的相关性质,可将石英薄膜渗氦型漏孔做成可调漏率的标准漏孔。

在石英薄膜渗氮型漏孔进气端的氦压力产生变化的情况下,需要经过比较长的时间才能重新建立稳定的氦流量,因而该类漏孔基本上都是做成带氦室的。

此外,利用硬质玻璃薄膜也可制作渗氮漏孔,制成的标准漏孔的漏率为10⁻⁷Pa•L/s~10⁻⁸Pa•L/s。

2、多孔金属型

该类漏孔通常是采用金属粉末压制而成的。它的结构坚固,制作容易,漏率在为10⁻²Pa•L/s左右。

3、金属压扁型

该类漏孔一般是选择可伐管或无氧铜管再用模具压制而成的,它的性能稳定、制作简单、不易堵塞,漏率一般在10⁻³Pa•L/s~10⁻⁵Pa•L/s范围之内。

4、玻璃毛细管型

该类标准漏孔是利用局部拉细的玻璃毛细管来制作的,它的漏率稳定,为10⁻⁴Pa•L/s~10⁻⁵Pa•L/s。

5、玻璃铂丝型

通过铂丝与硬质玻璃的非匹配封接,可得到恒定漏率的漏孔。该类漏孔的漏率与其几何尺寸有很大关系且与气体质量的平方根成反比。在实际使用中,此种漏孔是很容易堵塞的。若标准漏孔被水蒸气所堵塞,则在漏孔两端同时抽真空的条件下进行反复烘烤便可恢复漏孔。

6、放射漏孔

放射漏孔是一种绝对漏孔。已研发出1×10⁻¹ºPa•L/s和1×10⁻¹¹Pa•L/s的放射性漏孔,测量误差为20%左右。

7、其它类型的标准漏孔

其它类型的标准漏孔有人为的玻璃裂隙和可加热的毛细管等形式,它们在真空设备的检漏中很少用到。

8、带气室型

除放射性漏孔外,本文介绍的标准漏孔都是开放型的,带气室型标准漏孔在使用时需提供气源。经相关计算,由于氦气透过薄膜而渗透出去导致氮室内氦气压力降低而导致漏率的改变,在50年的使用时间内不会超过5%。