在进行镀膜机真空分析时，质谱计是必不可少的，而当前已有的真空质谱计都是由三个部分构成，分别是分析器、离子源以及离子检测器。它们的基本构成部分相同，但分析器的工作原理却不同，因此，可将真空质谱计归纳为以下四种类型：
1、能量平衡质谱计。属于能量平衡质谱计的质谱计有：回旋质谱计、射频质谱计。它的原理是根据离子在振荡电场中运动时其动能的变化而做质量分离的一类质谱计。
2、飞行时间质谱计。它的原理是在这种质谱计中，给定能量或动能的不同质荷比的离子根据其通过漂移管的不同时间作质量分离。
3、磁偏转质谱计。它的原理是在具有一定入射速度的条件下，按照不同质荷比的离子在磁场中不同的偏转半径来进行质量分离的仪器。
4、稳定性质谱计。属于稳定性质谱计的仪器有：单极质谱、四极质谱计、三维四极离子阱和线振质谱计。它的原理是在不同质荷比的离子在分析场内作振荡运动的情况下，根据它的轨迹或相位的的稳定判断是否要作质量分离。
从摆线质谱计的工作原理的角度来看，可将其与磁偏转质谱计分为同一类别。有所差别的是，摆线质谱计的分析场是选用直流电场和恒定磁场的复合场。不论是在蒸发工艺还是溅射工艺，在制备薄膜的过程中都经常使用镀膜机真空分析质谱计进行成膜工艺上的控制。
