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真空设备的检漏有哪些方法-广东振华真空镀膜设备

真空设备的检漏方法和可使用检测仪器的种类繁多,根据所使用仪器类型可分为卤素检漏仪法、氦质谱检漏仪法及其它类型检漏法。又可根据被检漏的真空室所处的状态不同而分为压力检漏法和真空检漏法。本文主要分析后一种分类方法,罗列出具体的检漏方法类型及其相应的最小可检漏率。

一、压力检漏法

将一定压力的示漏物质充入到被检真空室中,若真空室上有漏孔存在,那么示漏物质会自漏孔漏出来,用一定的仪器或方法在真空室外检测出自漏孔中泄漏出来的示漏物质,从而对漏孔的存在、具体的位置及漏率大小进行判定。现今属于压力检漏法的真空系统检漏方法有:

1、水压法。水压法的最小可检漏率为1.3-5.3×10⁻⁴Pa•L•s⁻¹;

2、压降法。压降法的最小可检漏率为1.3Pa•L•s⁻¹;

3、听音法。听音法的最小可检漏率为5.3Pa•L•s⁻¹;

4、超声法。超声法的最小可检漏率为1.3Pa•L•s⁻¹;

5、气泡法。气泡法又分为水泡法和皂泡法,水泡法通常情况下的最小可检漏率为10⁻²~10⁻³Pa•L•s⁻¹,而经24小时累积的可达10⁻²~10⁻³Pa•L•s⁻¹;皂泡法的最小可检漏率为6.7×10⁻³Pa•L•s⁻¹;

6、卤素检漏仪吸嘴法。卤素检漏仪吸嘴法的最小可检漏率为10⁻³~10⁻⁷Pa•L•s⁻¹;

7、氨检漏法。氨检漏法因工作条件(充入气体)的不同而有不同的最小可检漏率;

8、放射性同位素气体法。放射性同位素气体法的最小可检漏率为1.3×10⁻⁴Pa•L•s⁻¹;

9、氦质谱检漏仪吸嘴法。氦质谱检漏仪吸嘴法的最小可检漏率为10⁻⁵~10⁻⁷Pa•L•s⁻¹。

二、真空检漏法

由于被检查的真空室和检漏装置的敏感元件都是处在真空环境下,在被检真空室外面施加了示漏物质,若被检真空室存在漏孔,则示漏物质会通过漏孔进入真空室和检漏装置的敏感元件所在的区域内,而后敏感元件会将示漏物质检测出来,从而对漏孔的存在、具体位置及其大小进行判定。属于真空检漏法的真空系统检漏方法有:

1、真空规检漏法,真空规检漏法中用于真空检漏的设备有热偶或电阻真空规、电离真空规、热传导真空规差动组合、电离真空规差动组合、热传导规、液氮冷却活性炭阱、冷阴极电离规、液氮冷硅胶阱等。其中最小可检漏率低至10⁻¹ºPa•L•s⁻¹,高至10⁻³Pa•L•s⁻¹;

2、高频火花检漏法的最小可检漏率为1~10⁻¹Pa•L•s⁻¹;

3、放电管法的最小可检漏率为1~10⁻¹Pa•L•s⁻¹;

4、静态升压法的最小可检漏率为10⁻²~10⁻³Pa•L•s⁻¹;

5、氦质谱检漏法的最小可检漏率为10⁻⁹10⁻¹¹Pa•L•s⁻¹。

6、离子泵检漏法的最小可检漏率为10⁻⁶10⁻⁹Pa•L•s⁻¹;

7、卤素检漏仪内探头法的最小可检漏率为的最小可检漏率为10⁻⁴~4×10⁻⁶Pa•L•s⁻¹;

8、氢-鈀法的最小可检漏率为10⁻⁴~10⁻⁸Pa•L•s⁻¹;

三、另有其它真空设备的检漏方法,如放射性同位素法、荧光法等。