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真空系统中的卤素检漏仪有哪些结构-广东振华真空镀膜设备

卤素检漏仪可根据使用条件的不同分为两种类型,分别是携带式卤素检漏仪(仪器探头不与待检真空装置连接)和固定式卤素检漏仪(仪器探头与待检真空装置相连)。前者要求被检真空系统预先在系统中充以高于一个大气压的卤素气体(示漏物质),敏感元件(仪器探头)在大气压的环境下工作,由仪器探头检示出从漏孔泄漏出来的卤素气体(示漏物质)。而固定式卤素检漏仪则是在检测时需要预先将被检真空装置抽至10Pa~10⁻¹Pa的真空压力环境,之后再让卤素气体(示漏物质)从外面通过漏孔进入待检系统中,并充入敏感元件所处的区域。

本文以上述携带式卤素检漏仪为例,简述携带式晶体管卤素检漏仪的结构及其技术性能:

1、电源部分

携带式晶体管卤素检漏仪的电源是由四节1.5V、2A的蓄电池及直流变换器所构成的,作用是给电机、离子室及电流放大器的工作提供电能。

2、探头部分

探头部分(敏感元件)装有离子室、离子室装在探头的前身、电表、小电流放大器及电机带动的吸风装置等。它由两个铂制的电极组成(收集极和加热丝)。

在检漏仪工作时,其中一个电极(加热丝)发射正离子,在有卤素气体进入离子室的情况下,便增加离子的发射,收集极收集发射的离子后,离子受电流放大器作用而放大,显示在电流表上。由于电流放大器和电表都是装设于探头上,赋予了检漏仪使用方便的优势。

3、技术性能

此类检漏仪灵敏度为0.3g(氟里昂-12)/a,相当于1.7X10⁻⁴Pa•L•s⁻¹的数量级,小于1s的反应时间,18W的离子室加热功率。

真空系统中的卤素检漏仪可达10⁻⁷Pa•L•s⁻¹的最小可检漏率。卤素气体(示漏物质)采用四氯化碳、碘仿、氯仿、氟里昂等卤素化合物,在各种卤素气体中,以CCl₂F₂(氟里昂-12)的使用效果最好。