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离子镀膜设备测量漏率时应注意哪些问题-广东振华真空镀膜设备

离子镀膜设备进行漏率测量的办法是以示漏气体(示漏物质)覆盖被检部件的整个可疑区,或者充入示漏物质于被检部件之内,另一侧为大气压力环境或抽真空,或是在被检部件的内外两侧形成示漏物质的浓度差或压差,在低浓度或低压侧对示漏物质的漏率和浓度变化进行测量。

1、密封件的无损检漏

(1)首先要尽量利用密封件上可用来指示密封器件内部压力、残气分析质谱计以及示漏物质分压力的规管等进行检漏。

(2)背压法检漏可以通过氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、放射性同位素等检漏方法或装置进行检测,此方法适用于成批生产的小型的密封件的检漏。

(3)若设备密封部件内部本存在可作为示漏的物质,则只需采用静态或动态法对其进行检测,就可将漏孔测出。一般情况下的这类设备密封部件内部的示漏气体的分压力要高于采用背压法时的压力。因此,这种情况下的检漏灵敏度高,且费用又低。

(4)有些装置(如显像管、电子管等)原来不是测量压力的,改换其馈电方式,将其电极以电离规的方式连接,将其管内离子流的变化测出,便得出管内压力的变化率。在这类器件的大批量生产的情况下,可以利用校准将离子流的变化率直接换算成检测漏率。

2、 真空条件下设备部件漏率的测定

(1)选用压力测量、流量测量、氦质谱检漏仪以及卤素检漏仪等方法来对其漏率进行测量。

(2)利用接入真空镀膜设备部件的残气分析质谱计、离子泵及真空规来对镀膜设备部件的漏率进行测定。

3、加压条件下镀膜机漏率的测定

在加压条件下测量真空离子镀膜设备部件漏率有气泡法、氦质谱检漏仪法、卤素检漏仪法、氨检漏法、气敏半导体检漏仪法、超声法等方法。