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真空离子镀膜机寻找漏孔位置有哪些方法-广东振华真空镀膜设备

真空离子镀膜机找出漏孔位置有两种基本方法,分别是内探头法与外探头法(即喷吹法和吸嘴法)。当检漏装置的探头元件与被检设备部件不相连时,叫吸嘴法或外探头法,相连时,叫喷吹法或内探头法。

内探头法和外探头法的适用范围和检测方法如下:

1、外探头法

此方法适用于被检件不允许抽真空,被检测设备部件须在大于大气压的压力下检漏、被检测设备部件内有很大的放气量、待检测设备部件是一些复杂的长管道等情况下使用。

只要是在部件内部充入示漏物质,检查示漏物质从漏孔漏到出来的方法,都属于外探头法。因此,此方法可选用下列装置和方法:质谱检漏仪、卤素检漏仪、氨检漏法、荧光法、超声法、气泡法等。

2、内探头法

内探头法适用于可以真空镀膜机被抽真空的系统和零部件的检漏。在可疑处涂抹示漏液体或通过示漏气体喷吹可疑处,都属于内探头法。

在设备采用内探头法进行漏孔位置的确定时,首先要考虑被检测设备部件上是否有如残气分析质谱计、真空规管等可作为检漏用的探测器,且能否使用高频火花检漏仪等。

然后再考虑选用氦质谱检漏仪、氢——钯法、放电管法、卤素检漏仪、规管法等其中一种方法或装置。

内探头法的检漏速率比吸嘴法更快,但外探头法却可使被检测设备部件的器壁两侧压力差高于100kPa,因而便于更小的漏孔的检出。因此,如何正确选择真空离子镀膜机的检漏装置、检漏方法和示漏物质,是真空检漏的一大要点。设备检漏人员在进行检漏之前要认真、正确地对检漏装置、检漏方法和示漏物质进行选择,以求“快、多、好、省”地保证真空设备检漏工作的完成。