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真空镀膜设备的氦质谱检漏要注意哪些问题-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜设备采用氦质谱检漏仪进行检漏时,被检设备部件的全部或局部是处于真空或者加压的状态,检漏装置总是处于被检设备部件的低压的一侧。示漏气体通过被检设备部件上的漏孔进入检漏装置之前,其中一部分被辅助真空抽气装置抽走,进入检漏装置的只有一部分,致使检漏装置降低了灵敏度。因此,如何使检漏装置的能力得到充分的发挥,以求得检漏具备较高的灵敏度、较少的运转费用、较短的检漏时间、可靠稳定等等问题,均应引起注意。本文将以真空检漏法为例,对氦质谱检漏法的物理过程进行简述。

检漏装置与被检设备部件及辅助抽气装置的连接方式有两种方式,接好整个系统之后,检漏系统正常运转,就可开始镀膜设备的检漏工作。在氦气没有喷到漏孔上的情况下,检漏装置可认为是零(或是补偿到零)本底值。喷氦气后,氦气将经由漏孔进入系统中,检漏系统内开始提升各处氦的分压,直到进入的氦气量等于被真空系统抽走的量,即状态稳定。此时,若停止喷氦,则泵将因为抽气的作用,会逐渐降低系统内各处的氦分压,最后趋于初始的零(或是补偿到零)本底值。

关于清除时间与反应时间前面已分别作了说明。这两个参数是检漏系统动态特性的衡量标志,应在检漏前对其进行认真的测量以及估算。当反应时间较大时,信号就上升得慢,反应时间小,则信号上升得快,因而检漏速度要能够与之配合,检漏的速度太快的话,灵敏度会相应降低。清除时间是说明氦气去掉后的信号下降速度,决定了检漏装置恢复到检漏前的状态的所需时长,即决定两次检漏间的时间间隔的大小。

反应时间的缩短一直是人们关注的问题。例如,人们应用载体气体的办法在氦质谱检漏中,以此来缩短反应时间,如在吸嘴法检漏中,真空室中送入CO₂使流过漏孔的气流由分子流变为粘滞流,因而使流动的速度加快了,大大减少了反应时间。CO₂则可被检漏装置的液氮冷阱抽掉;此外,也有人提出通过加氮气扫描的办法,以达到反应时间缩短的效果。在真空镀膜设备这一类大容器的真空检漏中,可在真空室上装上一个凹形法兰,以此进行局部的检漏,使被检真空室的体积减小,以此来减少整体的反应时间。