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镀膜机真空检漏中的辅助真空系统有哪些作用-广东振华真空镀膜设备

辅助真空系统的作用是抽除被检真空镀膜机零部件中的部分气体,是一套使真空检漏装置能具备稳定的工作条件,并使清除时间与反应时间的装置。从抽除被检镀膜设备部件的气量来考虑,应要求辅助真空系统具有一定的抽速。而辅助真空系统的抽速选择则需从清除时间与反应时间进行综合考虑。此外,由于在大批量的部件检漏时,为使预抽时间尽可能地短,辅助真空系统的抽速选择还应从检漏装置的抽气时间进行考虑。

对于体积、漏气速率以及放气速率都小的被检设备零部件可直接与检漏装置的外接法兰进行连接与检漏,则不用到辅助真空系统。对于放气速率和漏气速率较大或者体积较大的被检设备零部件,若直接连接检漏装置,可能会使检漏装置的真空度抽不上,导致真空检漏装置无法运作。要在这种状态下检漏的话,只能调节节流阀,让它稍开启,而这又将导致整个反应时长变长。此外,被检设备零部件的初次抽真空过程中,其中附带水气、油蒸气等物质,都可能导致检漏装置的污染,因此,这也是真空检漏需要用到辅助真空系统的又一大因素。

即便被检真空设备零部件的体积很小,若是需要进行大批量检漏,也需要用到辅助真空系统。否则会导致检漏的效率极低,而增加辅助真空系统的话,可有效节省检漏操作时长。

辅助真空系统是由前级泵、次级泵、阀门、标准漏孔及真空规标准漏孔等部分所构成。前级泵通常采用气镇式机械泵,而是否需要次级泵则是视具体情况而定的,次级泵可采用罗茨泵或扩散泵。有些检漏装置自带一系列阀门,可借助这些阀门通过检漏装置的真空抽气系统对小型的、放气与漏气都不大的被检设备零部件完成粗抽、检漏,而无需另加辅助真空系统。但是,从保持检漏装置灵敏度的稳定性的角度来看的话,最好还是不要用检漏装置自带的真空泵做粗抽工作。

检漏装置与辅助真空抽气系统的连接方式有两种情况,两种方式各有不同的特点。在检测清洁的没有大漏孔的镀膜机零部件时,检漏装置需接在低真空(前级)一侧;反之,对于被污染了的设备零部件,在有大漏孔的情况下,想要找出小漏孔,检漏装置需装设在高真空的一侧。连接检漏装置的位置应是使检漏装置和被检设备零部件间为最大的流导,使较高浓度的氦进入检漏装置中。检漏装置接在低真空一侧时,由于前级泵不稳定的抽速,将导致检漏装置加大噪声,并降低了一定的检漏灵敏度,因此最好在低真空一侧串接一个扩散泵,或再加一个稳压瓶。在辅助真空系统的设计时,应在低真空一侧与高真空一侧都留有检漏装置的连接法兰。