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pvd真空镀膜机的漏率测量误差有哪些来源-广东振华真空镀膜设备

此前,我们简述一些氦质谱检漏的方法。此外,还有许多种由上述八种方法演变而来的真空检漏方法。这些方法虽然很多,但从其原理的角度上来看的话。可归纳为外探头法(吸入法)与内探头法(喷吹法),亦称为加压法与真空法。从实际应用中来看,pvd真空镀膜机所用的真空检漏方法也可归纳成测漏与找漏两大类。

目前,测量设备漏率的方法主要有:累积法、背压法、检漏盒法、氦罩法与选择性抽气法。这些方法适用于总漏率的测量,同样的,也可用在单个漏孔的漏率、局部位置的测量。在漏率测量时,其误差来源主要有:

1、被测漏孔与校准用的标准漏孔有不同的气流特性。

2、真空检漏时,校准标准漏孔时进入标准漏孔的示漏气体的压力和浓度与进入被检漏孔的示漏气体的压力和浓度不同,或由于浓度与压力的数值无法准确给出而无法进行换算。

3、检漏装置的输出指示与漏率间不成线性关系。

4、标准漏孔的标称漏率值存在误差。

5、校准时,被测漏孔的位置与标准漏孔所处的位置间的距离太远,导致进入检漏装置的示漏气体的气量不等。

在当pvd真空镀膜机的总漏率超过允许值,且需确定漏孔具体位置的情况下,可利用吸嘴法或喷吹法将漏孔的位置找出。灵活运用检漏方法是很重要的,因为一些特定情况下不一定非按照测漏、找漏的程序来进行。比如有些小器件的检漏,就可以将测漏、找漏两个步骤同时完成。在通过氦质谱检漏装置进行检漏之前最好先采取简易的粗检。