真空镀膜设备的连接包括了各内部系统的焊接、连接以及封接。这些设备的连接可分为永久性连接、可拆连接、活动连接和堵漏材料等。本文主要对真空系统的可拆连接作简要的介绍。

真空镀膜机可以用真空橡皮管或塑料、橡胶和软金属的密封垫圈来对一些可拆卸的部件进行连接。

1、软金属垫圈

因为橡胶材质本身具有较大的出气速率，无法承受高温，因此，在超高真空环境的法兰密封，大多是以软金属垫圈来替代常见的橡胶材质的密封垫圈。目前，有纯Au、Ag、Cu、Al和用于电气设备上的保险丝（也叫融断丝）等软金属材料，能够以不同的烘烤温度进行选用，以作为密封金属垫圈。

2、橡胶、塑料类垫圈材料

由于橡胶材质具有很好的弹性特征，所以是一种良好的可拆连接件的过渡密封常用的材料。对用于真空环境的橡胶，一般有耐油、含硫少、弹性好、工作温度合适等要求。接下来比对一些常用的橡胶的性质：

（1）天然橡胶

强度好、弹性好。于-60°C~100°C区间的使用温度。缺点是耐老化性能差、不耐油。

（2）氟橡胶

耐油性好、出气速率低、耐高温。它是偏二氟乙烯和三氟氯乙烯或全氟丙烯和偏二氟乙烯的共聚物。

（3）硅橡胶

耐250°C的高温，短期来说可达300°C高温、耐-70°C以下低温、于大气条件下耐老化、电绝缘性能好、耐臭氧。缺点是有较高的出气速率，机械性能也比较差。

（4）聚硫橡胶

聚硫橡胶在大气条件下耐老化，此外还有耐臭氧、耐油等特点。

（5）丁腈橡胶

耐油性能较好。丁腈橡胶中，其丙烯腈含量越高，就有越好的耐油、耐热性能，但也伴随着越差的低温性能。缺点是不耐臭氧、在大气条件下不耐老化等。

（6）氯丁橡胶

这种真空材料有一定耐油性能，在大气条件下耐老化，有较好的耐臭氧性能。

（7）丁苯橡胶

这种材料耐磨、耐寒，缺点是不耐油。

通常情况下，上述几种常见的橡胶均可用作真空镀膜设备前级真空的真空密封垫圈和橡皮管道。目前，常用的是氯丁、丁腈橡胶。而用于航空领域的密封件可选择硅橡胶，用于超高真空设备的密封件则可选用氟橡胶。由于橡胶有的不耐烘烤、出气速率较大等缺点，所以一般除了采用特殊措施者之外，是不适用于超高真空环境的。