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油扩散泵真空系统的污染如何防治-广东振华真空镀膜设备

油扩散泵真空系统是真空镀膜工艺中广泛使用的真空系统,该系统可得到1.3*10⁻³Pa~1.3*10⁻⁵Pa范围内的真空度。以油扩散泵为主泵构成的真空系统,应用于各类真空设备当中,这些真空设备在长期使用后,常会出现真空度抽不上去的情况,亦或抽不到原来真空度的极限真空水准。这当中的原因需要具体分析,可能因素有:焊缝的漏气、活动密封处的松动、真空阀门或真空泵的元件损坏等。此外,镀膜真空室内壁受到一定的油蒸气污染,在生产工艺过程中所粘附的各种污染物也可能是主要污染源之一。

真空蒸发镀膜机

油扩散泵为主泵的真空系统的污染防治的办法是定期清洗镀膜机真空室、油封机械真空泵、油金属扩散泵等。

一、真空室的清洗:

对真空室进行清洗时所须注意的细节有很多,在打开真空室之前,要先将位于油扩散泵与真空室之间的真空阀门关闭好,避免扩散泵内落入污染物。可用纱布或绸布擦掉真空室内壁的颗粒状污染物。用细砂纸轻轻磨掉表面锈痕、氧化层等污染。先后用干净汽油、酒精、丙酮或甲醇对其表面的油污进行擦洗,最后其表面通过绸布擦拭,直到没有灰痕为止。

二、油封机械泵拆开后的清洗:

1、清洗液先后顺序:废汽油——汽油——航空汽油。

2、彻底清除油路通孔、气体通道、油槽的污垢,油路用压缩空气吹通、吹干,避免留下清洗残余物。

3、如果有毛刺、生锈等,轻轻地用细油石或金相砂纸擦,注意表面零件表面的损伤。

4、逐一用棉布或绸布醮少量丙酮或甲醇擦洗零件表面(注意不要用棉纱擦拭,避免棉丝残留于零件表面)。

5、用绸布擦净清洗好的零件,零件用热风吹干,然后置于贮柜中。

三、油封机械泵未拆开的清洗:

对于无明显故障的油扩散泵真空系统的清洗,通常不拆泵进行,只需通过放油孔将旧油及脏物放出来。再将新油注入进气口,缓缓将泵转动几圈,然后再把注入的油放出来。如此重复一两次,最后再把新油注入进气口。