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超高真空系统的清洗与烘烤要注意些什么-广东振华真空镀膜设备

目前,清洁的超高真空的主要获得的真空手段,是由溅射离子泵和钛升华泵所组成的抽气系统,这个真空系统能获得的压力要低于1.3*10⁻³Pa。对于中小型的真空系统来说,主泵通常选择溅射离子泵;另外对于大型真空系统来说,其主泵则一般选择钛升华泵。超高真空系统的要求有:

真空室内壁的洁净度要很高;要求零件表面的光滑程度高;要求材料的放气量小;要严格清洁处理真空室的零部件;零件的表面不可用手直接接触;严加控制真空室的漏率。此外,还需烘烤真空室,烘烤的温度范围为200°C~250°C,持续烘烤时长为10h~12h(或350°C~400°C的烘烤温度,持续烘烤4h)。

当前,国产溅射离子泵为6.7*10⁻¹pa左右的启动压力,再高压力的话就启动不了了。在装配溅射离子泵完毕后,它的第一次启动比较麻烦,最好将磁铁卸下,烘烤溅射离子泵,以达到加速启动的目的。溅射离子泵的烘烤温度为400°C~500°C,持续烘烤时长为24h~30h。彻底让泵除气后,就比较容易启动了。在溅射离子泵的烘烤过程中,不断用粗抽(预抽)泵将烘烤时放出来的气体抽走。

溅射离子泵经过一定的使用时长之后,可能出现极限真空度下降或者不易启动的问题。如果经过排查,确定不是漏气造成的问题,则可能是泵受大气中水蒸气或机械泵油蒸气作用的缘故。可通过烘烤,恢复该泵原来的性能。如果是严重的污染,且恢复不了原来的性能,则需拆开此泵,彻底清洗泵内的零部件。

超高真空系统中,其真空室一般采用不锈钢为主要材料(碳钢更容易氧化而导致出气率偏高)。因此,要了解不锈钢的清洗工作。清洗的目的是为了减少不锈钢表面物理、化学吸附的气体。对于不清洁的不锈钢表面,可通过二次离子谱仪、俄歇谱仪进行观察,可发现碳和它的化合物是主要的污染物,而这都是有机物,因此,通过各种化学溶剂来清洗表面有机物、碳化物,是一种常用有效清洁方法。