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真空镀膜设备的表面处理有哪些方法-广东振华真空镀膜设备

镀膜工艺过程的洁净度是影响真空镀膜膜层粘附程度的一大主要指标,因此,为避免真空污染,设备零部件的表面清洁处理十分重要。真空镀膜设备的表面处理的基本方法有以下四种:

真空镀膜设备

一、溶剂去油

真空设备的零件所粘附的油脂主要可分为动植物油、矿物油这两种类型。可用碱溶液化学去除动植物油;用有机溶剂去除矿物油。

但在实际应用中,常同时存在这两种油脂,所以往往需要先后采用多种不同的溶剂进行设备零部件的清洗。

二、酸或碱的侵蚀处理

在设备去油后,再进行酸性或碱性浸蚀的处理,可将金属表面的氧化物除去。设备零部件经过热处理后已经没有油污了,可直接做酸/碱浸蚀处理,以除去真空退火后留下的氧化层污染。

三、电化学清洗及电抛光

在上一篇文章我们已经介绍了关于电化学清洗的原理以及配方,而电抛光的电解液不同电解浸蚀液。电化学抛光的电解液配方及抛光规范为:

1.正磷酸(H₃PO₄):65%(质量百分比);

2.硫酸(H₂SO₄):15%;

3.铬酸(CrO₃):6%;

4.去离子水:14%;

5.电流密度:0.2~0.5A/cm²;

6.电压:6~12V;

7.工作温度:75°C左右;

8.时间:5~10min。

电抛光后,将零件放入2%-5%氨水内中和15s-20s,再用水清洗,无水乙醇脱水,烘干。

四、超声波清洗

超声波清洗的原理:利用超声波造成介质的“空隙现象”的原理(即通过超声波的振动改变清洗介质的疏密程度),从而达到对真空镀膜设备的清洗作用。超声波的振动使介质在稀疏时形成瞬时的空隙,而在闭合时产生的瞬时冲击压力可大到几个大气压的冲击力,这个压强的力度足以破坏附着于物体表面的油膜,使油膜和污染物一起脱落到溶液中。