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真空电子器件可伐材料如何清洗-广东振华真空镀膜设备

可伐材料,又叫可伐合金(KOVAR),可翻译为可伐、柯伐、科瓦,可伐合金又叫铁镍钴合金。这种材料多用于真空电子器件,电力电子器件等领域。可伐材料为一种硬玻璃铁基封接合金,含29%的镍,17%的钴。这种材料有致密的氧化膜,焊接和熔接较容易,可切削加工,可塑性良好,因此可伐合金广泛用于制作电真空元件、继电器外壳、开关管、显像管、发射管、密封插头、晶体管等。

1、可伐的清洗

(1)酸洗液配方:硝酸(HNO₃)10%,盐酸(HCl)10%,去离子水80%。

(2)铬酸液配方:铬酐(CrO₃)100g,硫酸(H₂SO₄)30mL,去离子水1000mL(此配方用于可伐、无氧铜、钼去氧化膜)。

(3)清洗过程(以先后为序):去油后浸入70°C-80°C酸洗液中,时间2min-3min,自来水冲洗,在铬酸液中浸洗3s-5s后,自来水冲洗,去离子水清洗(两次),无水乙醇脱水后烘干(70°C-80°C)。

2、可伐的化学抛光

(1)可抛光液配方:硝酸(HNO₃)300mL,醋酸700mL。

(2)抛光过程(以先后为序):去油,5%盐酸溶液中清洗(去掉氧化物),自来水冲洗,无水乙醇脱水,烘干,零件浸入100°C~110°C抛光液(大零件15s~30s,小零件3s~10s),自来水冲洗,2%~5%氨水中和,自来水冲洗,去离子水洗,无水乙醇脱水,烘干。