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真空镀膜仪钼材料的清洗有哪些方法-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜仪钼材料的清洗、电解清洗,包括钼丝与细钼杆的清洗以及粗钼杆、钼板的电解清洗,可分别参照上文钨丝、细钨丝、钨杆以及钨零件的清洗。本文主要介绍真空镀膜设备钼材料的浸蚀与其他清洗方法。

1、钼的弱浸蚀(亦适用于钽及铌)

(1)配方:氢氧化钾(KOH)9份、亚硝酸钠(NaNO₂)1份,按重量计。

(2)清洗过程(以先后为序):将氢氧化钾、亚硝酸钠熔化于铁坩埚中,然后将零件放在其熔融体中迅速浸蚀(时间小于1s),再急速在沸水、流水及无水乙醇中轮流清洗并烘干。

2、钼的强浸蚀(此法可用于镍)

(1)配方:硫酸(H₂SO₄)100份、硝酸(HNO₃)20份(按容量计)。

(2)清洗过程(以先后为序):去油,在80°C酸洗液中浸蚀,自来水冲洗,2%~5%氨水中和,无水乙醇脱水,烘干。

3、清洗钼的其它方法

(1)清洗液配方:铁氰化钾(K₃Fe(CN))150g,氢氧化钠(NaOH)25g,去离子水500mL。

(2)清洗过程(以先后为序):零件去油,放入温度为80°C~90°C的清洗液中(时间2min~5min),自来水冲洗,在铬酸液(可伐的清洗)中浸3s~5s,自来水冲洗,2%~5%氨水中和,自来水冲洗,去离子水冲洗,无水乙醇脱水,烘干。