真空镀膜仪钼材料的清洗、电解清洗，包括钼丝与细钼杆的清洗以及粗钼杆、钼板的电解清洗，可分别参照上文钨丝、细钨丝、钨杆以及钨零件的清洗。本文主要介绍真空镀膜设备钼材料的浸蚀与其他清洗方法。
1、钼的弱浸蚀（亦适用于钽及铌）
（1）配方：氢氧化钾（KOH）9份、亚硝酸钠（NaNO₂）1份，按重量计。
（2）清洗过程（以先后为序）：将氢氧化钾、亚硝酸钠熔化于铁坩埚中，然后将零件放在其熔融体中迅速浸蚀（时间小于1s），再急速在沸水、流水及无水乙醇中轮流清洗并烘干。
2、钼的强浸蚀（此法可用于镍）
（1）配方：硫酸（H₂SO₄）100份、硝酸（HNO₃）20份（按容量计）。
（2）清洗过程（以先后为序）：去油，在80°C酸洗液中浸蚀，自来水冲洗，2％~5％氨水中和，无水乙醇脱水，烘干。
3、清洗钼的其它方法
（1）清洗液配方：铁氰化钾（K₃Fe（CN））150g，氢氧化钠（NaOH）25g，去离子水500mL。
（2）清洗过程（以先后为序）：零件去油，放入温度为80°C~90°C的清洗液中（时间2min~5min），自来水冲洗，在铬酸液（可伐的清洗）中浸3s~5s，自来水冲洗，2％~5％氨水中和，自来水冲洗，去离子水冲洗，无水乙醇脱水，烘干。
