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离子涂覆金属化镀膜有哪些优点-广东振华真空镀膜设备

离子涂覆金属化镀膜机与溅射镀膜设备相似,但该类型的镀膜机是以蒸发源的热丝为阳极,以安放陶瓷的支架作为阴极,以待涂覆的金属材料作为热丝材料。在阴、阳极之间加2kV~5kV的直流高压之后,于电极间会有Ar的等离子体形成,用Ar的正离子对工件表面净化基底进行轰击,再把热丝加热,蒸发金属,受到电场加速的作,金属蒸气的正离子会对工件表进行面不断的轰击,在工件表面形成一层牢固的涂覆层。

离子涂覆金属化镀膜过程:先将镀膜机真空室抽到真空度为5X10⁻⁵Pa,通入Ar至压力为1Pa~5Pa。当阳极与阴极之间施加2kV~5kV的高压时,放电为0.5mA/cm²的电流密度。利用离子轰击作用,使陶瓷表面得到“清洗”的效果,离子轰击时间长短是由材料及其表面性质所决定的。在高压回路中串接的电流表起着放电电流的指示作用,当下降至某个电流稳定值后,则陶瓷表面的“清洗”过程已经完成。然后将活动挡板移开,通过热丝使金属蒸发,利用电场将金属蒸气电离成正离子,在离子轰击陶瓷的过程中,形成一层牢固的金属薄膜。这层金属薄膜形成之后,可通过离子涂覆或真空蒸涂等工艺,使金属涂层达到所要求的厚度,最后再进行金属件和离子涂覆的金属化陶瓷件之间的封接。

离子涂覆金属化镀膜工艺的是金属化温度低(工件温升小于300°C、金属化沉积速率高(约等于电镀的速率)、适用于各种不同的介质材料、金属薄膜结合牢固等优点。而缺点则是只适用于较易蒸发的金属材料薄膜的沉积,较难用于难熔金属的薄膜沉积。