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真空设备的玻璃金属封接有哪些类型-广东振华真空镀膜设备

常用的真空设备玻璃-金属封接结构,需满足封接件具耐烘烤、一定强度、有气密性和电绝缘性能较好等要求。

真空仪器的玻璃-金属封接的常用类型分别是:匹配封接、不匹配封接、过渡封接。

1、匹配封接

该封接形式指在一定温度范围内玻璃与金属的线膨胀系数的差值小于10%。

2、不匹配封接

该封接形式指的是玻璃与金属线膨胀系数差值大于10%。

3、过渡封接

当玻璃与金属线膨胀系数有较大差距时,可采用介于玻璃与金属之间的线膨胀系数的一种或几种玻璃,来进行过渡封接。

从结构上来区分的话,真空设备的玻璃金属封接类型可分为管封结构、围封结构和盘封结构。管封结构常用的是一种金属圆管和玻璃圆管的对接结构。如玻璃管与可伐法兰接头的封接;围封结构指的是封接用玻璃包围起来的金属杆的四周的一种结构,如真空振动薄膜规规管引线、弯注规规管引线、超高真空电离计规管引线等。