1、不锈钢（真空镀膜机主要材料）的清洗

（1）配方

a.盐酸（HCl）5.5份，硝酸（HNO₃）2份，水2.5份（按质量计），再加2％~3％的尿素，温度70°C。

b.氢氟酸（HF）1.5份，硝酸（HNO3）1份，水7.5份（按质量计），温度50°C。

（2）清洗过程（以先后为序）

去油，浸入配方a或b的溶液中，自来水冲洗，2％~5％氨水中和，自来水冲洗，无水乙醇脱水，烘干。

2、镍的清洗

（1）配方（强侵蚀）

a.硝酸（HNO₃）5份，硫酸（H₂SO₄）5份（按容量计）。

b.硝酸（HNO₃）290mL，硫酸（H₂SO₄）150mL，水60mL。

（2）清洗过程（以先后为序）

去油，在配方a或b的溶液中清洗（温度20°C-30°C，时间5s），自来水冲洗，2％~5％氨水中和，去离子水洗两次，无水乙醇脱水，烘干。

3、银焊料清洗

（1）配方

铬酐（CrO₃）120g，氯化钠（8g），去离子水1000mL。

（2）清洗过程（以先后为序）

去油，烘干，在清洗液中浸洗30s，自来水冲洗；在5％氨水中浸30s~60s，自来水冲洗；在5％盐酸溶液中浸洗30s，自来水冲洗；去离子水洗两次，烘干（若氧化层厚可用砂纸打光，再去油，清洗）。洗好后焊料应无污痕、酸印、水印。

4、银铜焊料清洗

清洗过程（以先后为序）：去油，烘干，在50％盐酸溶液中浸洗（温度70°C~80°C）时间3min~5min，自来水冲洗，2％~5％氨水中和，自来水冲洗，去离子水洗，无水乙醇脱水，烘干。洗好后的焊料应无污痕、酸印、水印。

5、陶瓷件清洗

清洗过程（以先后为序）：用去污粉、肥皂水刷洗（也可用超声波清洗），在10％氢氧化钠溶液中煮20min，自来水冲洗，再用去离子水煮15min（1~2次），烘干（一般不允许用酸洗、酸煮，不用三氯乙烯去油，以避免留下导电层，若有金属痕迹、锈斑等，可用棉球浸5％盐酸擦净）。

6、玻璃件（真空镀膜机观察窗主要材料）的清洗

（1）配方

重铬酸钾（K₂Cr₂O₇）饱和溶液35mL（也可用铬酐（CrO₃）代替），硫酸1mL。

（2）清洗过程（以先后为序）

甲苯去油，丙酮清洗（也可用汽油去油、清洗），在温度为70°C的20％氢氧化钠中浸泡24h，洗液加热到60°C~70°C浸泡24h，自来水冲洗，去离子水冲洗，烘干（70°C~80°C）。

7、真空橡皮去硫

在20％氢氧化钠溶液中煮1h，自来水冲洗，去离子水冲洗，烘干。

8、钛及钛合金的清洗

（1）配方

a.氢氟酸（HF）20mL，硝酸（HNO₃）500mL，去离子水500mL。

b.氟化钠（NaF）50g，盐酸（HCl）50g，去离子水350g。

（2）清洗过程（以先后为序）

去油，室温放入配方a或b的酸洗液中洗10min~30min，自来水冲洗，用2％~5％氨水溶液中和，自来水冲洗，去离子水冲洗两次，无水乙醇脱水、烘干。