1、不锈钢(真空镀膜机主要材料)的清洗
(1)配方
a.盐酸(HCl)5.5份,硝酸(HNO₃)2份,水2.5份(按质量计),再加2%~3%的尿素,温度70°C。
b.氢氟酸(HF)1.5份,硝酸(HNO3)1份,水7.5份(按质量计),温度50°C。
(2)清洗过程(以先后为序)
去油,浸入配方a或b的溶液中,自来水冲洗,2%~5%氨水中和,自来水冲洗,无水乙醇脱水,烘干。
2、镍的清洗
(1)配方(强侵蚀)
a.硝酸(HNO₃)5份,硫酸(H₂SO₄)5份(按容量计)。
b.硝酸(HNO₃)290mL,硫酸(H₂SO₄)150mL,水60mL。
(2)清洗过程(以先后为序)
去油,在配方a或b的溶液中清洗(温度20°C-30°C,时间5s),自来水冲洗,2%~5%氨水中和,去离子水洗两次,无水乙醇脱水,烘干。
3、银焊料清洗
(1)配方
铬酐(CrO₃)120g,氯化钠(8g),去离子水1000mL。
(2)清洗过程(以先后为序)
去油,烘干,在清洗液中浸洗30s,自来水冲洗;在5%氨水中浸30s~60s,自来水冲洗;在5%盐酸溶液中浸洗30s,自来水冲洗;去离子水洗两次,烘干(若氧化层厚可用砂纸打光,再去油,清洗)。洗好后焊料应无污痕、酸印、水印。
4、银铜焊料清洗
清洗过程(以先后为序):去油,烘干,在50%盐酸溶液中浸洗(温度70°C~80°C)时间3min~5min,自来水冲洗,2%~5%氨水中和,自来水冲洗,去离子水洗,无水乙醇脱水,烘干。洗好后的焊料应无污痕、酸印、水印。
5、陶瓷件清洗
清洗过程(以先后为序):用去污粉、肥皂水刷洗(也可用超声波清洗),在10%氢氧化钠溶液中煮20min,自来水冲洗,再用去离子水煮15min(1~2次),烘干(一般不允许用酸洗、酸煮,不用三氯乙烯去油,以避免留下导电层,若有金属痕迹、锈斑等,可用棉球浸5%盐酸擦净)。
6、玻璃件(真空镀膜机观察窗主要材料)的清洗
(1)配方
重铬酸钾(K₂Cr₂O₇)饱和溶液35mL(也可用铬酐(CrO₃)代替),硫酸1mL。
(2)清洗过程(以先后为序)
甲苯去油,丙酮清洗(也可用汽油去油、清洗),在温度为70°C的20%氢氧化钠中浸泡24h,洗液加热到60°C~70°C浸泡24h,自来水冲洗,去离子水冲洗,烘干(70°C~80°C)。
7、真空橡皮去硫
在20%氢氧化钠溶液中煮1h,自来水冲洗,去离子水冲洗,烘干。
8、钛及钛合金的清洗
(1)配方
a.氢氟酸(HF)20mL,硝酸(HNO₃)500mL,去离子水500mL。
b.氟化钠(NaF)50g,盐酸(HCl)50g,去离子水350g。
(2)清洗过程(以先后为序)
去油,室温放入配方a或b的酸洗液中洗10min~30min,自来水冲洗,用2%~5%氨水溶液中和,自来水冲洗,去离子水冲洗两次,无水乙醇脱水、烘干。