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真空设备的铜及其合金材料如何清洗-广东振华真空镀膜设备

真空设备的铜及其合金材料的清洗主要有三种工艺,分别是无氧铜零件的化学抛光、弱浸蚀以及强浸蚀,本文将分别介绍这三种类型的清洗工艺的清洗液配方及其清洗的过程。

1、弱浸蚀

(1)配方:氯化钠(NaCl)15g,亚硝酸钠(NaNO₂)20g,硝酸(HNO₃)1000mL,硫酸(H₂SO₄)1000mL,去离子水2000mL。

(2)清洗过程(以先后为序):零件去油后在溶液中浸蚀(温度25°C,时间1s~5s),自来水冲洗,无水乙醇脱水,烘干。

2、强浸蚀

(1)配方:硝酸(HNO₃)1份,硫酸(H₂SO₄)2份,水7份(按容量计)。

(2)清洗过程(以先后为序):去油,温度为25°C溶液中浸蚀(时间2h~4h),自来水冲洗,无水乙醇脱水,烘干。浸入55%蚁酸(HCOOH)溶液中,温度25°C,时间2h~4h,自来水冲洗,无水乙醇脱水,烘干。

3、真空设备无氧铜零件的化学抛光

(1)抛光液配方:硝酸(HNO₃)200mL,醋酸(CH₃COOH)500mL,磷酸(H₃PO₄)550mL,硫脉0.2g~0.3g。

(2)酸洗配方:硫酸亚铁(FeSO₄)饱和溶液950mL、硫酸(H₂SO₄)50mL,这个酸洗配方只能除掉氧化铜,无法对铜起作用。

(3)化学抛光过程(以先后为序):去油,浸入60°C~70°C酸洗液,时间3min~5min(若表面无氧化层可不进行酸洗),自来水冲洗,无水乙醇脱水,烘干,浸入40°C~60°C抛光液,时间10s~30s,自来水冲洗,2%~5%氨水中和,去离子水洗,无水乙醇脱水,烘干。