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蒸发镀膜机真空系统常见的操作规程-广东振华真空镀膜设备

真空蒸发镀膜机对各种真空系统的操作、启停过程、产生故障时防护污染等,都有严格要求,要遵守操作规程。

蒸发镀膜机

1、机械泵,它只能抽到15Pa~20Pa或更高的压力,否则会带来严重的反流污染问题;

2、吸附泵,要配置防压力爆破装置,避免回温后事故发生;

3、停机时,冷阱要与真空室隔离,在排除液氮、回温之后才可以让高真空泵停止;

4、扩散泵,在正常工作前和停泵20min内油蒸气污染很大,故不得与真空室或冷阱相通;

5、分子筛,避免分子筛吸附阱中的分子筛固体粉末及其本身被机械泵吸入。

如果蒸发镀膜机的真空系统达不到真空度要求或者抽不上,可以先排查抽气装置工作状态,然后检查放气源是否存在。在装配真空部件之前,要先经严格的清洁处理、烘干并检漏,合格后方可使用。然后检查可拆卸部位密封圈的清洁状态,密封面的划伤问题,连接紧密问题等。