真空蒸发镀膜机对各种真空系统的操作、启停过程、产生故障时防护污染等，都有严格要求，要遵守操作规程。
1、机械泵，它只能抽到15Pa~20Pa或更高的压力，否则会带来严重的反流污染问题；
2、吸附泵，要配置防压力爆破装置，避免回温后事故发生；
3、停机时，冷阱要与真空室隔离，在排除液氮、回温之后才可以让高真空泵停止；
4、扩散泵，在正常工作前和停泵20min内油蒸气污染很大，故不得与真空室或冷阱相通；
5、分子筛，避免分子筛吸附阱中的分子筛固体粉末及其本身被机械泵吸入。
如果蒸发镀膜机的真空系统达不到真空度要求或者抽不上，可以先排查抽气装置工作状态，然后检查放气源是否存在。在装配真空部件之前，要先经严格的清洁处理、烘干并检漏，合格后方可使用。然后检查可拆卸部位密封圈的清洁状态，密封面的划伤问题，连接紧密问题等。
