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真空蒸发镀膜设备的油蒸气返流有哪些影响-广东振华真空镀膜设备

真空蒸发镀膜设备抽真空的过程中常存在油蒸气的返流影响。实际上,但凡是配置机械泵和扩散泵抽真空的镀膜机真空系统,通常都会有油蒸气的返流污染影响。

真空蒸发镀膜设备

一般情况下,对于无挡油装置的真空系统的扩散泵来说,其返流率约等于10⁻²mg/(cm²·min)~10⁻³mg/(cm²·min)。通过水冷帽、水冷挡板等挡油措施的增加,可降低100~1000倍的返油率。

而低温真空室有较大的空间容积,有较大的材料表面积,从抽真空到15Pa开始,直到抽镀膜设备的抽气结束,这个过程始终存在着定向的油蒸气流,这个“定向”指的是从抽气机组流向容器的方向。这时,镀膜机真空室的容器就像一种选择性的捕集油蒸气的泵。

真空蒸发镀膜设备真空室内的返流量与、抽气管道的流导、抽气时间、机组的返油率成正比。所以国产的抽真空泵组的返油率一般比较高,这是因为对低温真空室的抽气时间越长,它的返流量也就越大。

真空蒸发镀膜设备抽真空的返流的油蒸气与吸附剂的亲合力较强,也就是更容易被吸附,再者,其在吸附较多的油蒸气分子过后,对N₂、H₂等气体的吸附会产生一定的影响,降低了吸气的性能,缩短设备真空室的真空寿命(真空状态保持时长)。另外,真空镀膜机的油蒸气会使反射屏受到污染,严重时影响屏的发射率,从而降低了真空室的绝热性能。因此,低温镀膜真空室抽气时要考虑油蒸气返流的影响。