抽空加热排气工艺是一种普遍用于高真空镀膜机的扩散泵系统的排气方法，可以获得超高真空环境。抽空加热排气不同于工艺与单纯排气工艺的是，它在抽至低真空或高真空时，加热真空室，进行除气。
一、优点，抽空加热排气工艺效果较好是因为它的温度作用：
1、空间气体分子升高温度，分子运动快速，则增大了其穿过绝热层窄缝抽气通道与抽气嘴的能力，稍增了绝热层和抽气口的流导。
2、温度提高，除增加了扩散系数之外，还因加快绝热层内的材料的放气现象、增大压差，从而增加了绝热层的渗透量，导致“渗透抽气”的能力提高。
3、材料温度提高后，可使分子在表面的吸附时间有效缩短，材料内部气体的扩散系数即刻增加，可使绝热材料和吸附剂的放气过程进一步加速。
二、缺点，抽空加热排气工艺存在的问题是：
1、镀膜机抽气系统存在油蒸气返流的影响。
2、吸附剂再活化很困难。
3、该系列真空泵组抽气时间长。
4、前述的水蒸气抽出困难的问题未能解决。
5、高真空镀膜机的抽空加热排气工艺的加热是在抽气过程中进行的。由于真空室具备超绝热性能，加热十分困难，导致了绝热材料和吸附剂的升温，直至允许最高温度时长，且由于不均匀的温度分布，导致上述温度作用的影响遭受限制。
