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真空室的空气预加热排气工艺介绍-广东振华真空镀膜设备

1971年J.W.Snowman指出,真空室的加热应该在抽气开始前就进行。

同是1971年,C.Geyari等人在一种测试多层绝热的量热器上进一步实验了在空气中先加热后抽气的排气方法。

1976年,在一批液氮生物容器和液氮容器的制作中,对这种工艺又进行了研究,证明这种工艺比抽空加热排气工艺所需的抽气时间可以大大缩短,同时有利于吸附剂的再活化。

真空镀膜设备

真空镀膜设备的空气预加热排气工艺方法是:在抽气之前,将真空室在大气中预加热到50°C,然后再开始抽气,抽气过程中根据真空室允许的除气温度情况,进行保温或继续升温。